Un método no destructivo de físico utilizado para el análisis elemental de químico de materiales en estado sólido o líquido. El espécimen es irradiado por fotones o partículas cargadas de energía suficiente para provocar sus elementos emitir (fluorescencia) sus espectros de línea de rayos x característicos. Sistema de la detección permite la determinación de las energías de las líneas de emisión y sus intensidades. Elementos en la muestra se identifican por sus energías de la línea espectral o longitudes de onda para el análisis cualitativo y las intensidades están relacionadas con sus concentraciones para el análisis cuantitativo. Equipos son ampliamente utilizados en este campo, tanto para la recogida de datos automatizada y para reducir los datos de rayos x peso-% y atómica % composición química o área relacionada con la masa (de películas).